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設備故障分析為什么要選擇MEMS傳感器

日期:2022-12-12

  上海輝泰在為客戶提供預測性維護服務是需要在目標設備上安裝傳感器,獲取設備的溫振數據以判斷設備的運行狀況和健康狀態,并進行監測、診斷和故障預測。WitExpert采用的是Witium自主研發的MEMS三軸溫振傳感器,它同傳統壓電式傳感器相比優勢是非常明顯的。

  第一點,MEMS傳感器是數字量輸出,和壓電式傳感器不同,壓電式傳感器是模擬量輸出,采集到數據后還需要進行轉化。MEMS振動與壓電式振動對比,其更小的尺寸和更高的集成性更契合現在狀態監測發展的趨勢。

  第二點,因為MEMS是偏向于內置機械,所以它有個特別明顯的優勢在于對溫度的敏感性較低,壓電式傳感器則受溫度的影響比較大。在需要高帶寬和低噪聲的檢測中,兩種傳感其實都具有滿足條件的帶寬和低噪聲,但MEMS加速度計能夠提供直流響應,這是壓電式加速度計不具備的,直流響應可以在非常低的轉速下檢測電機不平衡和傾斜。

  第三點。MEMS傳感器能檢測近乎直流范圍的極低頻率振動,在超低頻超低轉速方面是非常有優勢的。另外,更高的分辨率、出色的漂移特性和靈敏度都是它相比壓電式傳感能力更突出的地方。

  第四點。MEMS傳感器具有自檢的功能,不需要每年去校準,但是壓電式傳感器,它是需要每年校準的,很不方便。

  第五點,由于MEMS傳感器具有普通傳感器無法企及的IC硅片加工批量化生產帶來的成本優勢,所以它的性價比遠高于傳統壓電式傳感器。以單個 5mm*5mm 尺寸的 MEMS 傳感器為例, 用硅微加工工藝在一片 8 英寸的硅片晶元上可同時切割出大約 1000 個 MEMS 芯片, 批量生產可大大降低單個 MEMS 的生產成本。

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